熱物性顯微鏡 TM3B主要是測(cè)量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備，可以進(jìn)行微小領(lǐng)域（微米等級(jí)）和納米薄膜等的測(cè)量。

熱物性顯微鏡TM3B的優(yōu)勢(shì)：

? 熱物性顯微鏡是測(cè)量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備；

? 可以通過點(diǎn)、線、面測(cè)量樣品的熱物性；

? 可測(cè)量微米等級(jí)的熱物性值的分布；

? 全球首個(gè)非接觸方式且高分辨率的熱物性測(cè)量設(shè)備；

? 檢測(cè)光點(diǎn)徑3μm、高分辨率來測(cè)量微小領(lǐng)域的熱物性（點(diǎn)、線、面  測(cè)量）；

? 可改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，從薄膜、多層膜到散裝材料都可測(cè)量；

? 基板上的樣品也可測(cè)量；

? 激光非接觸式測(cè)量；

? 可檢測(cè)薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問題。

微小領(lǐng)域（微米等級(jí)）、納米薄膜、Sic（單晶體、多晶體）、AIN等的測(cè)量。